工业碳化硅生产设备
2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 知乎
2023年11月12日 宇晶股份近日在调研中表示，公司加大对碳化硅切、磨、抛关键技术的攻克，设备的精度已经达到行业一流水平，公司生产的碳化硅切割、研磨、抛光设备主要 2023 年 02 月 26 日 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 —— 行业周报 机械设备 沪深 碳化硅 是 制作大功率、高频、低损耗功率器件的最佳材料 300 与硅基半导体材料相 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 20232023年6月28日 国产设备也在突进。据纳设智能CEO陈炳安介绍，碳化硅外延生产成本约占碳化硅器件总体成本的23%。现阶段，碳化硅外延的制备方法主要以化学气相沉 碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、国内产业链急追 腾讯网
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打造第三代半导体碳化硅材料全产业链 科友 关键装备
2023年3月26日 碳化硅是电力电子器件的主要衬底材料，是新能源汽车、光伏逆变器、5G通信等战略性新兴产业的基石，可降低能量损耗达50%以上。 张胜涛介绍，在碳化硅产业链中，衬底制造技术壁垒高、价值量大，是 碳化硅，第三代半导体时代的中国机会. 2021-07-21 08:57:31 来源：科技日报. 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材 碳化硅，第三代半导体时代的中国机会-新华网2023年6月30日 相较于此生产的6英寸外延设备，此次发布的8英寸碳化硅外延设备生产出的外延片边缘损耗更小、可利用面积更大，未来通过产量和规模效益的提升，成本有望 中国电科48所率先发布国产8英寸碳化硅外延设备 湖南省工业
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【行业观察】国产替代加速，我国第三代半导体碳化硅
2023年5月17日 03 碳化硅的国内外技术差距及发展机会 一是碳化硅衬底，生产碳化硅单晶衬底的关键步骤是单晶的生长，也是碳化硅半导体材料应用的主要技术难点，是产业链中技术密集型和资金密集型的环节。影响 碳化硅的生产工艺和投资估算. 碳化硅是人工合成的材料，其化学计量成分以克分子计：Si 50%、C 50%以质量计：Si 70.04%、C 29.96%，相对分子质量为40.09。. 装料顺序是在炉底先铺上一层未反应料，然后添加新配料到一定高度 (约炉芯到炉底的二分之一)，在其上面铺一碳化硅生产工艺_百度文库2023年1月4日 制作碳化硅器件的大部分设备与传统硅的生产设备相同，但由于碳化硅材料硬度高、熔点高等特性，需要一些特殊的生产设备与工艺。 SiC所需的特定设备包括高温退火炉、高温离子注入机、SiC减薄设备、 第三代半导体SiC产业链及市场应用研究_碳化硅_材料_
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2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 知乎
2023年11月12日 综合来看，国内碳化硅关键设备产业已经逐步发力，大部分设备类型都已有国产替代方案，在碳化硅产业爆发的情况下，未来碳化硅设备市场也将不断增大，预计此轮利好将持续2-3年，在此期间碳化硅设备需求将持续增长，将为国内设备厂商带来巨大的发展 2020年6月16日 半导体制造之设备篇. 半导体需要的设备比较繁杂，在晶圆制造中，由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中需要20到50次的反复制作，是芯片端加工过程的三大核心技术，其设备价值也最高，但半导体制造设备远远不止这些，本文将一一比较国产化 半导体制造之设备篇：国产、进口设备大对比 知乎2020年10月19日 碳化硅生产设备 与二代半导体类似，我国碳化硅生产设备也大量来自进口美欧日的产品。 衬底方面，4家厂商研发成功6英寸产品并启动了工业化生产，8英寸衬底初步研发成功。与国外的差距缩小到半代，大概3-4小议碳化硅的国产化 知乎
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碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、 国内产业链急追_新浪财经
2023年6月29日 龚瑞骄预测，6英寸碳化硅衬底产能将从2022年的107万片增长到2026年的569万片。. 同时，8英寸产品也在进入市场，目市占率还不到2%，2026年的市场2023年6月28日 国产设备也在突进。据纳设智能CEO陈炳安介绍，碳化硅外延生产成本约占碳化硅器件总体成本的23%。现阶段，碳化硅外延的制备方法主要以化学气相沉积（CVD）为主，纳设智能开发了自主创新的碳化硅外延CVD设备，该设备的耗材成本、维护频率都较低。碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、国内产业链急追 腾讯网2023年2月26日 《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师） 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023
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揭秘碳化硅，第三代半导体材料核心，应用七大领域，百亿
2021年11月7日 使用碳化硅 MOSFET 或碳化硅 MOSFET 与碳化硅 SBD 结合的功率模块的光伏逆变器，转换效率可从 96%提升至 99%以上，能量损耗降低 50%以上，设备循环寿命提升 50 倍，从而能够缩小系统体积、增加功率密度、延长器件使用寿命、降低生产成本。2020年12月2日 技术|碳化硅产业链条核心：外延技术. 碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。. 碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且 技术|碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎2022年9月6日 四、碳化硅产业现状. 1、中国碳化硅产量分为黑碳化硅和绿碳化硅，2020年中国黑碳化硅产量为75万吨，绿碳化硅产量为10.5万吨，2021年中国黑碳化硅产量为90万吨，绿碳化硅为11万吨，产量相继上涨。. 说明我国碳化硅行业发展景及需求量较为良好。. 2020-2021年碳化硅行业发展现状如何？一文读懂碳化硅产量、良率及进出口
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碳化硅，第三代半导体时代的中国机会-新华网
碳化硅，第三代半导体时代的中国机会. 2021-07-21 08:57:31 来源：科技日报. 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐2021年7月21日 碳化硅，第三代半导体时代的中国机会. 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐。. 今年发布的“‘十四五’规划和碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 国家自然科学基金2022年9月6日 碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，根据科锐和应用材料公司官网数据显示，相较于硅基功率器件，碳化硅基MOSFET尺寸可以减少为同电压硅基MOSFET的十分之 碳化硅：核心优势、产业链及相关公司深度梳理【慧博
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碳化硅用途有哪些 知乎
2021年3月30日 碳化硅用途有哪些. 1、冶金选矿行业. 碳化硅硬度仅次于金刚石，耐磨性强，是叶轮、泵房、耐磨管道、旋流器，矿斗内衬的理想材料，而碳化硅的耐磨性是橡胶、铸铁使用寿命的5-20倍，也是航空跑道的 2023年10月27日 二、行业现状及市场空间 1、全球碳化硅器件市场格局由海外巨头主导 海外企业由于占据先发优势，在技术进展与产能规模上具备一定垄断地位。根据数据，市场份额由海外巨头意法半导体、Wolfspeed、罗姆、英飞凌、三菱电机、安森美等厂商垄断，其中最大的碳化硅器件商为意法半导体，是特斯拉碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关2022年3月2日 4.3. 露笑科技：碳化硅布局国内领先，定增扩产 24 万片导电型衬底产能 公司成立于 2003 年，为国内最大的专业漆包线生产商之一、及国内领先的蓝宝石长 晶炉生产厂商。依托于蓝宝石业务的积累，向碳化硅“设备——衬底——外延”的 全产业链延伸。碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有
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【详解】华为认为中高压SiC器件成熟在即 相关仪器设备需求
2021年1月14日 半导体制造离不开半导体设备，碳化硅产业链更是如此，其涉及的设备种类繁多。 碳化硅的很多工艺段设备可以与硅基半导体工艺兼容，但由于宽禁带半导体材料熔点较高、硬度较大、热导率较高、键能较强的特殊性质，使得部分工艺段需要使用专用设备、部分需要在硅设备基础上加以改进。2023年4月25日 因此，产业上需要将Si基功率器件生产线转换成SiC器件生产线，往往只需要增加一些专用设备就可以完成生产线设备平台的转型。各工艺环节关键设备如表1所示。 表1 碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 1.3 SiC工艺及装备挑战国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备 模拟2019年8月9日 功率半导体器件是一种基础性电子元器件，广泛应用于电力电子行业当中，起到电力设备的电能变换和电路控制的作用，迄今为止已有60年的历史，已逐渐从传统工业制造和4C产业向新能源、电力机车、智能电网等领域发展，拥有完整的生命周期。SiC碳化硅：功率半导体器件行业新战场 知乎
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